Práctica RBS-Tandem

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Medición de gradiente de composición y espesor en films de Fe-Ga utilizando Espectroscopía
por Retrodispersión de Rutherford (RBS)
Investigador responsable: Luis M. Rodríguez.
En la fabricación de films delgados sobre sustratos es indispensable poder determinar el
espesor y la concentración elemental en profundidad de las películas crecidas. No sólo es crítico
para calificar el producto obtenido sino también para valorar la técnica empleada en su producción.
La Espectroscopía por Retrodispersión de Rutherford (RBS) se vale de la utilización de
iones como sondas de prueba para realizar esta tarea. El análisis de la energía de los iones reflejados
sobre la muestra nos brinda información acerca de los elementos que la componen y la profundidad
a la que se hallan, en tiempos razonables y sin destruir la muestra.
En esta práctica, utilizando RBS efectuaremos mediciones de composición, espesor y
calidad de films de Fe-Ga crecidos por evaporación sobre sustratos de Si y vidrio. Además se
aprovechará la medición para ver de qué modo entran en juego en la técnica la modificación de
variables tales como la energía del proyectil o el ángulo de dispersión.